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第16回化学工学会学生発表会（東京大会）

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11) エレクトロニクス

11-d. 高信頼性設計（高放熱、短絡現象、等）

最終更新日時：2014-03-04 10:10:01

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ULSI1件

受理
番号		講演題目／発表者キーワード受理日時
98PVD法による高信頼性USLI-Cu配線用Co(W)膜の合成と評価
(東大工) ○冨田 皓太・ (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩		ULSI
12/6
16:52:51
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第16回化学工学会学生発表会（東京大会）
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