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化学工学会 第53回秋季大会 (長野)

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SY) 部会シンポジウム

SY-76. [エレクトロニクス部会シンポジウム] エレクトロニクス材料とプロセス技術

オーガナイザー: 羽深 等(横浜国立大学)・齊藤 丈靖(大阪公立大学)・岩本 猛(三菱電機(株))

エレクトロニクス材料とプロセス技術に関する研究に関して研究発表を公募します。

めっき、電池材料、を始め様々な材料の研究がエレクトロ二クスには不可欠です。広い分野に亘るエレクトロ二クス材料の研究を募集いたします。多数ご参加ください。

最終更新日時:2023-05-14 05:35:01

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Heat recirculation1件
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講演題目/発表者キーワード発表形式
7壁面排出孔によるシリコンウエハ湿式洗浄槽の水流単純化
(横国大理工) 土田 透子高橋 俊範(正)○羽深 等(プレテック) 後藤 昭広
Silicon wafer
Wet cleaning bath
Water flow
O
61[展望講演] マテリアルズインフォマティクスを活用した蓄電池材料開発の現状と展望
(NIMS) 松田 翔一
Battery
Materials informatics
Future prospect
O
62[招待講演] 液晶・高分子複合素子とその応用
(秋田大理工) 山口 留美子
Liquid crystal
Polymer
Hybrid device
O
63[招待講演] 熱電発電による熱と資源の循環
(産総研) ○舟橋 良次三上 祐史
Resource recirculation
Thermoelectric power generation
Heat recirculation
O
65[展望講演] 半導体デバイスウェーハ用CMP装置と技術
(荏原製作所) (法)檜山 浩國
CMP
Semiconductor device
Equipment
O
763Mg二次電池用Biアノードの析出形態制御と充放電特性
(大公大院工) (学)○松本 周成本 夏輝(正)岡本 尚樹(正)齋藤 丈靖
electrodeposition
rechargeable magnesium battery
O

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