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化学工学会 第84年会

Last modified: 2019-03-12 11:30:00

講演プログラム検索結果 : CVD : 6件

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キーワード が『CVD』と一致する講演：6件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 2 日
9:40～ 10:00		F203片端を封止した基材上へのCVDシリカ膜の製膜
(RITE) ○(正)浦井 宏美・ (正)西野 仁・ (正)瀬下 雅博・ 山口 祐一郎・ (正)中尾 真一
siloca membrane
CVD
hydrogen
4-a1038
第 3 日
9:20～ 11:20		PD310新規シリカ複合膜によるイオン分離
(芝浦工大) ○(学)吉浦 詢子・ (芝浦工大院) (学)石井 克典・ (学)柴田 愛・ (学)竹内 淳登・ (芝浦工大工) 卜部 拓巳・ (芝浦工大) 亀田 洋輔・ (正)野村 幹弘
Silica membrane
CVD
ion separation
4-a1208
第 3 日
9:20～ 11:20		PD314CVDシリカ膜の蒸着機構検討
(芝浦工大院理) ○(学)石井 克典・ (学)柴田 愛・ (学)竹内 淳登・ (芝浦工大工) 卜部 拓巳・ 亀田 洋輔・ (学)吉浦 詢子・ (正)野村 幹弘
silica membrane
CVD
inorganic membrane
4-a185
第 3 日
9:20～ 11:20		PD315対向拡散CVD法による炭化ケイ素系ガス分離膜の合成
(JFCC) ○(正)永野 孝幸・ 佐藤 功二
Silicon Carbide
CVD
Gas Seapration
4-a18
第 3 日
13:20～ 15:20		PE358SiC-CVDにおける副生成物低減及び原料リサイクル技術の検討
(東大院工) ○(学)大高 雄平・ (東大工) (学)小田 拓実・ (東大院工) (学)佐藤 登・ (IHI) (正)福島 康之・ (東大院工) (正)出浦 桃子・ (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
CVD
CVI
SiC
5-h970
第 3 日
13:20～ 15:20		PE371TiAlN-CVDプロセスの反応モデル構築に向けた速度過程解析
(東大院工) ○(学)山口 潤・ 平原 智子・ (京セラ) (法)久保 隼人・ (東大院工) (正)出浦 桃子・ (正)百瀬 健・ (京セラ) (正)谷渕 栄仁・ (東大院工) (正)霜垣 幸浩
CVD
TiAlN
cutting tool
5-h982

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