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化学工学会 第57回秋季大会 (東広島)

Last modified: 2026-07-16 06:38:20

講演プログラム（セッション別） : SY-76

司会・座長は調整中のため表示しておりません。
また一部調整中のセッションがあります。
講演プログラム一覧表で黄色背景のセッションがライブ配信併用セッションです。
(それ以外のセッションは全て現地のみ開催です。)

SY-76 [エレクトロニクス部会シンポジウム]
エレクトロニクス材料とプロセス技術

オーガナイザー：齊藤 丈靖（大阪公立大学）・羽深 等（横浜国立大学）・岩本 猛（三菱電機(株)）・岡本 尚樹（大阪公立大学）

エレクトロニクス材料とプロセス技術に関わる研究・開発の講演を公募します。めっき、電池材料、結晶、高分子、セラミックスを始め様々な材料とプロセスがエレクトロニクスには不可欠です。幅広い分野に亘るエレクトロニクス材料と、その使い方に関わる講演を募集いたします。多数ご参加下さい。

S 会場 ・ 第 2 日

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
S 会場(工学部 103) ・ 第 2 日(9月15日(火))
(13:00～14:20)
13:00～ 13:40S213[展望講演] EUVLの現状と今後の展開
(兵庫県大) 渡邊 健夫
EUV Lithography
Element technologies of EUVL
Next Generation EUVL
SY-76698
13:40～ 14:00S215[招待講演] 半導体乾燥工程の課題とパターン倒壊抑制技術の動向
(Screenホールディングス) 中野 佑宇唯
Pattern collapse
Wafer drying
SY-76637
14:00～ 14:20S216真空紫外光照射による銅の還元およびシリコン絶縁膜への水酸基の導入
(阪公大院工) ○(正)齊藤 丈靖・ 片山 魁人・ 赤松 法星・ 遠藤 真一・ (正)岡本 尚樹
VUV
surface treatment
hybrid bonding
SY-76926
(14:20～15:40)
14:20～ 15:00S217[展望講演] 極限環境用 SiC CMOS 集積回路・イメージセンサの研究開発
(広大RISE) 黒木 伸一郎
SiC
CMOS
Integrated circuits
SY-7680
15:00～ 15:20S219[招待講演] 硫化物全固体電池の実用化に向けた課題と最新技術動向
(産総研) 乙山 美紗恵
Sulfide All-Solid-State Batteries
Solid Electrolytes
SY-7646
15:20～ 15:40S220水晶振動子を活用するガスプロセス管理
(横国大) (正)羽深 等
quartz crystal microbalance
gas process
SY-76906

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化学工学会 第57回秋季大会 (東広島)

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