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化学工学会 第86年会

講演プログラム検索結果 : 対向拡散 : 2件

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講演題目 が『対向拡散』を含む講演：2件該当しました。
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講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
12:40～ 13:00		J112対向拡散CVD法による耐熱性シリカ膜の開発
(RITE) ○(正)浦井 宏美・ (正)瀬下 雅博・ 山口 祐一郎・ (正)中尾 真一
CVD
Silica membrane
thermal stability
4-a228
第 1 日
13:40～ 14:00		J115オゾンを反応助剤とした対向拡散CVDシリカ膜の膜特性
(芝浦工大院理工) ○(学)石井 克典・ (芝浦工大工) (正)野村 幹弘
silica membrane
chemical vapor deposition
inorganic membrane
4-a96

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化学工学会 第86年会

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