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化学工学会 第86年会

講演プログラム検索結果 : CVI : 2件

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キーワード が『CVI』と一致する講演：2件該当しました。
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講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
14:20～ 15:20		PA128塩素フリーSiC-CVIにおける粉体抑制・均一埋め込みに向けたプロセス検討
(東大院工) ○(学)根東 佳史・ (学)安治 遼祐・ (学)大高 雄平・ (正)佐藤 登・ (IHI) (正)福島 康之・ (東大院工) (正)出浦 桃子・ (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
SiC
CVI
CVD
5-h506
第 3 日
14:20～ 14:40		K317MTS/H2を原料としたSiC-CVIにおける擬0次反応と犠牲層を併用したトレンチ内均一製膜
(東大院工) ○(学)大高 雄平・ (正)佐藤 登・ (学)根東 佳史・ (IHI) (正)福島 康之・ (東大院工) (正)出浦 桃子・ (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
SiC
CVD
CVI
5-h383

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