講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目/発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
第 2 日 13:00~ 13:40 | CD213 | [展望講演] 熱CVD法を用いた切削工具用硬質膜の開発と展望
| CVD Cutting tool Hard coating
| ST-25 | 468 |
第 2 日 13:40~ 14:00 | CD215 | アルキルアルミニウムを用いたアルミナ膜の新規合成法の開発
| CVD alkyl aluminum alumina
| ST-25 | 882 |
第 2 日 14:00~ 14:20 | CD216 | 熱CVD法による高Al組成fcc-TiAlN膜の合成(2)
| CVD TiAlN cutting tool
| ST-25 | 561 |
第 2 日 14:20~ 14:40 | CD217 | 4H-SiC CVDトレンチ埋込成長機構及びHClガス添加効果の検討
| 4H-SiC trench filling HCl
| ST-25 | 142 |
第 2 日 14:40~ 15:00 | CD218 | SiC-CVIプロセスにおける表面反応過程の理論検討
| SiC CVI Surface Reaction
| ST-25 | 919 |
第 3 日 9:00~ 9:20 | CD301 | 超臨界流体薄膜堆積による高アスペスト比構造への銅の均一製膜指針
| Supercritical fluid deposition Diffusion coefficient Kinetics
| ST-25 | 905 |
第 3 日 9:20~ 9:40 | CD302 | Supercritical dying and impregnation for fabrication of porous carbon electrode on Li-O2/CO2 battery
| Li- O2/CO2 battery supercritical carbon dioxide ionogel binder
| ST-25 | 685 |
第 3 日 9:40~ 10:00 | CD303 | Tetracene thin film formation for organic photovoltaics by temperature-driven supercritical fluid deposition
| Temperature-driven Supercritical Fluid Deposition Crystallization Tetracene
| ST-25 | 1058 |
第 3 日 10:00~ 10:20 | CD304 | [招待講演] グラフェンをはじめとする二次元材料のCVD成長と生成機構
| graphene epitaxial growth hexagonal boron nitride
| ST-25 | 44 |
第 3 日 10:20~ 10:40 | CD305 | 硫化水素添加が熱分解炭素CVDに及ぼす影響
| CVD Carbon Hydrogen sulfide
| ST-25 | 978 |
第 3 日 10:40~ 11:00 | CD306 | CsxWO3 ナノ粒子の火炎噴霧合成と光学特性
| cesium tungsten bronze flame-assisted spray pyrolysis aerosol
| ST-25 | 113 |
第 3 日 11:00~ 11:20 | CD307 | 浮遊触媒形成の温度場制御と単層カーボンナノチューブの気相合成
| single-wall carbon nanotube reaction field control floating catalyst chemical vapor deposition
| ST-25 | 336 |
第 3 日 11:20~ 11:40 | CD308 | ミストCVD法による高品質酸化亜鉛薄膜の作製および反応メカニズムの解明
| Mist CVD ZnO reaction mechanism
| ST-25 | 879 |
第 3 日 11:40~ 12:00 | CD309 | 減圧熱CVD法で作製したリチウムドープ酸化亜鉛薄膜の比誘電率
| CVD Lithium-doped Zinc Oxide Ferroelectric
| ST-25 | 832 |
第 3 日 13:00~ 13:40 | CD313 | [展望講演] 接触分解反応による活性種を利用した薄膜堆積と表面改質:HWCVD法の基礎と応用展開
| HWCVD Thin film Surface modification
| ST-25 | 243 |
第 3 日 13:40~ 14:00 | CD315 | アミノシラン系SiO2-ALDの反応速度解析
| ALD aminosilane reaction kinetics
| ST-25 | 226 |
第 3 日 14:00~ 14:20 | CD316 | [招待講演] プラズマエッチングにおけるSiO2/Si界面準位の生成と制御
| Plasma Etching Damage
| ST-25 | 330 |
第 3 日 14:20~ 14:40 | CD317 | RFプラズマCVDによるTiB系硬質膜の製膜と評価
| hard coating plasma CVD TiBCN
| ST-25 | 937 |
第 3 日 14:40~ 15:00 | CD318 | Ag粒子とTiO2粒子の堆積で作製した複合薄膜の可視光照射下での光触媒活性
| PVD PECVD nanoparticle
| ST-25 | 576 |