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化学工学会 第86年会

講演プログラム検索結果 : 塩素 : 3件

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講演題目 が『塩素』を含む講演:3件該当しました。
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講演
時刻
講演
番号
講演題目/発表者キーワード分類
番号
受理
番号
第 1 日
14:2015:20
PA128塩素フリーSiC-CVIにおける粉体抑制・均一埋め込みに向けたプロセス検討
(東大院工) ○(学)根東 佳史(学)安治 遼祐(学)大高 雄平(正)佐藤 登(IHI) (正)福島 康之(東大院工) (正)出浦 桃子(正)百瀬 健(正)霜垣 幸浩
SiC
CVI
CVD
5-h506
第 1 日
16:2016:40
N1234H-SiC ウエハエッチングにおける三フッ化塩素ガス分散構造の設計と検証
(横国大) 林 優也(正)羽深 等(関東電化) (法)高橋 至直(産総研) 加藤 智久
SiC
Wafer etching
CLF3 gas
11-c43
第 3 日
9:4010:00
E303[依頼講演] ポリ塩化ビニルの次亜塩素酸ナトリウムによる腐食事例
(住友化学) (正)中田 幹俊
oxidative degradation
PVC
sodium hypochlorite
F-1670

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