Supercritical carbondioxide - 講演プログラム検索結果

`化学工学会第91年会 (京都)`

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キーワードが『Supercritical carbondioxide』と一致する講演：1件該当しました。
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講演時刻	講演番号	講演題目／発表者	キーワード	分類番号	受理番号
P会場第 3 日 13:30～ 15:30	PE307	scCO₂を用いた半導体製造装置部材の洗浄とモデリング (熊大院自) ○(学)松岡巧真・ (熊大産ナノ研) (正)佐々木満・ (東エレ九) 木場幸生・ (熊大工) 照屋皇	Supercritical carbondioxide Cleaning	8-c	637

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化学工学会第91年会 (京都)

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