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化学工学会 第85年会

Last modified: 2020-03-02 11:00:00

講演プログラム検索結果 : CVD : 6件

講演要旨は各講演番号からリンクしています。
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※ IChES 2020 のプログラムは こちら です。

キーワード が『CVD』と一致する講演：6件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
13:40～ 14:00		I115対向拡散CVD法による製膜の蒸着メカニズム解明
silica membrane
CVD
4-a746
第 2 日
9:10～ 9:30		F202[招待講演] CVDによる金属表面と炭素表面での炭素析出
CVD
Pyrolytic carbon
Coking
SS-2179
第 3 日
9:20～ 11:20		PD371MTS/H2を原料としたSiC-CVDプロセスにおけるSiCl4添加効果の検討
CVD
SiC
Recycle
5-h450
第 3 日
9:20～ 11:20		PD378TiAlN-CVDプロセスの反応モデル構築に向けた速度過程解析(2)
CVD
TiAlN
cutting tool
5-h103
第 3 日
13:00～ 14:40		J316プラズマCVD法シリカ系ガスバリア膜の残留応力
(京大工) ○(正)河瀬 元明・ (学)平田 桑一朗・ (学·技基)脇坂 知樹
CVD
residual stress
silica gas barrier film
5-h608
第 3 日
13:00～ 14:40		J317ヨウ化鉛メチルアンモニウムペロブスカイト膜のCVDプロセスの開発
(京大工) ○(正)河瀬 元明・ (学)村上 誉紀・ (学)松田 萌
CVD
methylammonium lead iodide
lead melt
5-h614
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