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化学工学会 第52回秋季大会 (岡山)

講演プログラム検索結果 : 岡本 尚樹 : 2件

ST-25,SY-56,SY-64,SY-65,SY-70は双方向ライブ配信利用予定からオンライン実施に変更されました(本変更を最後とします)。
双方向ライブ配信利用はプログラム一覧表で黄色・赤色背景のセッションです。
赤色のセッションは岡山のライブ配信会場にオーガナイザー不在の予定です。黄色は不在となる可能性があります。いずれの場合も会場は開設しますのでご来場いただいて発表・聴講いただけます。
[アクセス][フロアマップ]
講演要旨は講演番号からリンクしています(クリックかタップしてください)。
参加登録者(一般公開企画のみ参加者を除く)およびご招待者にメールでお知らせしたID/PWが必要です。

発表者または座長 が『岡本 尚樹』と一致する講演：2件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。また、フラッシュ付きポスターの場合、フラッシュとポスターの２件となります。

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
11:20～ 11:40		VC108次世代半導体用配線材料としての MAX化合物の製膜と評価
Max Phase
semiconductor
ST-22864
第 2 日
10:00～ 10:20		VC204Ti[N(CH3)2]4を用いたプラズマCVD法によるTiCN膜の作製
plasma CVD
TDMAT
TiCN
ST-22863
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E-mail: inquiry-52fwww3.scej.org