Last modified: 2023-05-16 07:28:20
講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目/発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
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ST-22 [部会横断型シンポジウム] CVD・ドライプロセス -構造・機能制御の反応工学- | |||||
(10:40~12:00) (座長 | |||||
VC106 | [展望講演] 半導体メモリの技術・経済・産業の現在と発展する未来 | CVD semiconductor memory industry | ST-22 | 517 | |
VC108 | 次世代半導体用配線材料としての MAX化合物の製膜と評価 | Max Phase semiconductor | ST-22 | 864 | |
VC109 | ビスマスを原料とした太陽電池用ペロブスカイト薄膜CVDプロセスの開発 | CVD perovskite methylammonium bismuth iodide | ST-22 | 375 | |
(13:20~14:40) (座長 | |||||
VC114 | 超臨界CO2を反応場とした有機修飾酸化鉄ナノ結晶の直接合成 | Supercritical carbon dioxide iron oxide nanocrystals organic modification | ST-22 | 629 | |
VC115 | 超臨界流体薄膜堆積法で作製した酸化チタンの光触媒活性と結晶性への添加物の効果 | supercritical fluid deposition photocatalyst crystallinity | ST-22 | 142 | |
VC116 | パルス供給ALDにおける原料気化特性の検討 | ALD precursor vaporization | ST-22 | 594 | |
VC117 | 三塩化ホウ素ガスとモノメチルシランガスによる薄膜形成 | Chemical vapor deposition Silicon-Boron film Mechanism | ST-22 | 40 | |
休憩 | |||||
(15:10~17:00) (座長 | |||||
VC119 | [招待講演] 長尺・高密カーボンナノチューブ(CNT)・アレイから作製するCNT乾式紡績糸の物性制御とエネルギー・メカニカルデバイスへの応用 | Carbon nanotube (CNT) arrays Dry Spinning CNT yarns Energy and mechanical devices | ST-22 | 516 | |
VC121 | [注目講演] Enhanced CO2-assisted growth of single-wall carbon nanotube arrays with Fe/AlOx catalyst annealed without CO2 | chemical vaper deposition thermal annealing single-wall carbon nanotubes | ST-22 | 672 | |
VC122 | SiCf/SiC CMC合成のための排出ガス改質再利用を含むSiC含浸プロセスの提案 | SiC reuse CVI | ST-22 | 689 | |
VC123 | 多結晶SiC-CVDプロセス設計を目指した総括反応モデルの構築と検証 | Chemical Vapor Deposition silicon carbide macrocavity method | ST-22 | 792 | |
VC124 | CVI法を用いたセラミックス基複合材料製造反応器内の数値シミュレーション | CVI Numerical simulation MTS | ST-22 | 562 |
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化学工学会 第52回秋季大会 (岡山)