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化学工学会 第54回秋季大会 (福岡)

講演プログラム検索結果 : 洗浄 : 2件

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講演題目 が『洗浄』を含む講演:2件該当しました。
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講演
時刻
講演
番号
講演題目/発表者キーワード分類
番号
受理
番号
第 2 日
9:4010:00
C203バッチ式洗浄におけるウエハ浸漬・取出時の付着汚れの動き
(横国大) 土田 透子(正)羽深 等(プレテック) 後藤 昭広
Wafer cleaning
Wafer operation
Betch-type cleaner
SY-7795
第 2 日
11:4012:00
L209排水処理用中空糸膜モジュールのオフライン洗浄 ー難除去閉塞物質とその除去方法-
(マイム) ○(正)高岡 大造水谷 徹水谷 満竹内 康治
MBR
Fouling
Cleaning
SY-59677

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化学工学会 第54回秋季大会 (福岡)


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