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化学工学会 第89年会 (堺)

Last modified: 2024-12-13 11:36:26

講演プログラム（会場・日程別） : G会場・第3日 : G322

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G 会場(B3棟 2F 207) ・ 第 3 日(3月20日(水))

5 反応工学 | 4 分離プロセス

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
5. 反応工学
オーガナイズドセッション(反応工学部会CVD反応分科会)
(9:00～10:40) (座長 齊藤 丈靖)
9:00～ 9:20G301ALD用トリメチルアルミニウムの物理吸着の定量分析
(東大院工) ○(学)Wu Yuxuan・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
Atomic Layer Depositon
Quartz Crystal Microbalance
Surface Adsorption
5-h383
9:20～ 9:40G302原子層堆積法を用いたZrN薄膜形成プロセスの検討
(東大院工) ○(学)田中 潤・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
ZrN
ALD
TEMAZ
5-h273
9:40～ 10:00G303次世代ULSI配線用Moの原子層成長プロセス開発
(東大院工) ○(学)小原 聡顕・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
Molybdenum
ALD
low resistivity
5-h123
10:00～ 10:20G304ヒドラジンを用いた原子層堆積法によるシリコン窒化膜評価
Siicon Nitride
Atomic Layer Deposition
Incubation Cycle
5-h109
10:20～ 10:40G305Co薄膜熱原子層エッチングプロセスの検討
(東大院工) ○(正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)筑根 敦弘・ (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
ALE
atomic layer eching
cobalt
5-h516
(10:40～12:00) (座長 杉目 恒志・清水 秀治)
10:40～ 11:00G306反射光強度その場観察を利用した下地選択Co-ALDプロセスの検討
(東大院工) ○(学)木村 俊介・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)百瀬 健・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
ALD
in-situ observation
reflectance
5-h232
11:00～ 11:20G307ポリマー上におけるCu連続膜形成プロセスの検討
(東大院工) ○(学)中嶋 佑介・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
Atomic Layer Depoition
Copper
on Polymer
5-h531
11:20～ 11:40G308キセノンエキシマランプを使用したVUV-Redox法による銅表面の活性化
VUV-Redo
Surface activation
5-h786
11:40～ 12:00G309CFDシミュレーションによるAlN化合物単結晶成長影響要因の検討
MOCVD
CFD
III-V compound
5-h683
12:00～ 12:20CVD反応分科会奨励賞授賞式
4. 分離プロセス
(13:00～13:40) (座長 立元 雄治)
13:00～ 13:20G313竪型薄膜式多重効用缶による省エネ効果
Energy saving
Multiple-effect evaporator
Thin film evaporation
4-c213
13:20～ 13:40G314[注目講演] 旋回流を利用した鉄さび粒子捕捉デバイスの開発
Iron oxide
Swirl flow
Circulating water
4-b42
(13:40～14:40) (座長 橋本 一輝)
13:40～ 14:00G315加圧浮上法による除去土壌の改質処理
radioactive contaminated soil
pressurized flotation method
4-i160
14:00～ 14:20G316油中劣化物に対する粒状吸着剤の吸着特性評価
Adsorption
Degraded oil
4-e713
14:20～ 14:40G317[注目講演] 新規三脚型アミド系抽出剤を用いたテクネチウム(VII)とレニウム(VII) の革新的溶媒抽出
technetium
rhenium
solvent extraction
4-f419
(15:00～16:00) (座長 下条 晃司郎)
15:00～ 15:20G319ベンゼンをエントレーナーとする共沸蒸留を用いたエタノール脱水プロセスのシミュレーション
process simulation
azeotropic distillation
three phase distillation
4-c2
15:20～ 15:40G320充填塔におけるHETPの推算
Packed column
efficiency
HETP
4-c699
15:40～ 16:00G321充填式蒸留塔の HETP の局所的挙動の相関モデリング
Packed Distillation Column
HETP
Control Volume Model
4-c1
(16:00～16:40) (座長 稲澤 晋)
16:00～ 16:20G322近赤外分光分析を用いた高速撹拌乾燥挙動に及ぼす操作条件の影響調査
Drying
NIR
Agitation
4-h38
16:20～ 16:40G323石炭中水分形態が水分蒸発挙動に及ぼす影響
(電中研) ○(法)橋本 一輝・ (法)櫻木 潔・ (法)大高 円・ (正)山口 哲正
forms of water
water desorption
coal
4-h110

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