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化学工学会 第54回秋季大会 (福岡)

講演プログラム検索結果 : 西田 哲 : 2件

講演番号先頭がPの講演はポスター講演、それ以外の講演は口頭講演です。
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司会・座長氏名 が『西田 哲』と一致するセッション：2件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。また、フラッシュ付きポスターの場合、フラッシュとポスターの２件となります。

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
13:20～ 14:40		   座長 百瀬 健・西田 哲
S114[展望講演] 三次元積層実装技術の研究開発動向と今後の展望
3D-IC
chip stacking
TSV
ST-24814
S116次世代ULSI配線用モリブデン原子層成長プロセスの開発
ALD
Molybdenum
interconnect
ST-24845
S117Co-ALDによる選択成長プロセスの検討
(東大院工) ○(正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)百瀬 健・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
cobalt
ALD
selective deposition
ST-24837
第 2 日
14:20～ 15:50		   座長 西田 哲・舩門 佑一
S217Photocatalytic Performance Evaluation of TiO2 and TiO2-CuO Nanoparticulate Thin Films Prepared by a Gas Phase System
PECVD
PVD
TiO2-CuO heterojunction
ST-24778
S218モデル触媒構造を用いた可視光応答型CuOx/TiO2光触媒反応機構の検討
(東大院工) ○(学)田中 潤・ (学)中嶋 佑介・ (正)霜垣 幸浩・ (正)百瀬 健
photocatalyst
visible light
reaction mechanism
ST-24926
S219反応性スパッタリングによるMAX合金薄膜形成と物性評価
sputtering
MAX-phase
ST-24876
S220[招待講演] スパッタだからできる薄膜の結晶性・モフォロジー制御
sputtering
thin film
morphology control
ST-24783

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化学工学会 第54回秋季大会 (福岡)

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