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化学工学会 第55回秋季大会

講演プログラム検索結果 : CVD : 7件

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キーワード が『CVD』と一致する講演：7件該当しました。
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講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
9:00～ 12:00		YB138一酸化炭素を原料とする垂直配向カーボンナノチューブの合成
Carbon nanotube
Carbon monoxide
CVD
SY-63572
第 1 日
16:00～ 16:20		J122CpCo(CO)2を用いたCo製膜プロセスの検討
(東大院工) ○(正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
ALD
CVD
cobalt
ST-25813
第 1 日
16:40～ 17:40		YB138一酸化炭素を原料とする垂直配向カーボンナノチューブの合成
Carbon nanotube
Carbon monoxide
CVD
SY-63572
第 2 日
13:40～ 14:00		J215三次元立体集積回路(3DIC)構成用高熱伝導性AlN膜の低温FM-CVD
(東大院工) ○(正)大高 雄平・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
AlN
CVD
3DIC
ST-25957
第 2 日
14:00～ 14:20		J216SiCf/SiC-CMC製造CVIプロセスにおける製膜反応速度式の検討
SiC
CVI
CVD
ST-25826
第 2 日
14:20～ 14:40		J217SiCf/SiC-CMC量産化に向けた包括的なSiC-CVIプロセス開発
SiC
CVI
CVD
ST-25954
第 3 日
10:00～ 11:00		YA301対向拡散CVDによる炭化ケイ素系ガス分離膜の細孔径制御
SiC
CVD
membrane
SY-5739
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