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化学工学会 第55回秋季大会

講演プログラム検索結果 : Time-lag method : 1件

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キーワード が『Time-lag method』と一致する講演：1件該当しました。
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講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
16:20～ 16:40		J123ULSI-Cu配線用超薄膜における銅拡散バリア効果の定量評価のためのタイムラグ法の進展
(東大院工) ○(正)Deng Yubin・ (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
Time-lag method
Barrier property
ULSI
ST-25418

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化学工学会 第55回秋季大会

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