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化学工学会 第55回秋季大会

講演プログラム検索結果 : バリア : 3件

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講演題目 が『バリア』を含む講演：3件該当しました。
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講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
16:20～ 16:40		J123ULSI-Cu配線用超薄膜における銅拡散バリア効果の定量評価のためのタイムラグ法の進展
(東大院工) ○(正)Deng Yubin・ (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
Time-lag method
Barrier property
ULSI
ST-25418
第 1 日
16:40～ 17:00		J124ULSI配線ライナー/バリア層用Zr/ZrN製膜プロセス開発
(東大院工) ○(学)田中 潤・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
Zr/ZrN
ALD
PECVD
ST-25832
第 2 日
9:40～ 10:00		C203[招待講演] ウェットプロセスによるウルトラ・ハイバリア膜技術
Barrier film
Wet process
SY-7711
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