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化学工学会 第90年会 (東京)

講演プログラム検索結果 : 原子層成長 : 1件

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講演題目 が『原子層成長』を含む講演：1件該当しました。
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講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 3 日
16:00～ 16:20		J322Mo(CO)6を用いたMo原子層成長プロセス開発
(東大院工) ○(学)小原 聡顕・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
Mo(CO)6
low resistivity
good step coverage
5-h324
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