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化学工学会 第90年会 (東京)

講演プログラム検索結果 : 5-h : 15件

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分類番号 が『5-h』から始まる講演:15件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。

講演
時刻
講演
番号
講演題目/発表者キーワード分類
番号
受理
番号
第 3 日
9:2011:20
PD349FM-CVDによるAlN薄膜成長時膜質段差被覆性評価
CVD
AlN
3DIC
5-h258
第 3 日
9:2011:20
PD350リチウムイオン電池に向けた化学気相成長法によるシリコン-活性炭複合負極材開発
Chemical Vapor Deposition (CVD)
Silicon anode
Lithium-ion battery
5-h238
第 3 日
9:2011:20
PD356SiCf/SiC-CMC製造用CVIプロセス最適設計に向けたニューラルネットワークポテンシャルを用いた表面反応解析
SiC
CVI
CVD
5-h321
第 3 日
9:2011:20
PD369ALDによるPd製膜プロセス基板依存性検討
palladium
AS-ALD
growth enhancer
5-h345
第 3 日
9:2011:20
PD371窒化ホウ素被覆カーボンナノチューブ合成リチウムイオン電池応用
carbon nanotube
boron nitride
lithium-ion battery
5-h243
第 3 日
9:2011:20
PD372低MTS高水素条件CVIによるSiC初期成長製膜実験による考察
SiC
CVI
CMC
5-h430
第 3 日
13:0013:20
J313HF蒸気を用いた薄膜エッチングに関する実験および数値シミュレーション
CFD
Vapor Process
Etching
5-h306
第 3 日
13:2013:40
J314アルミニウム層成長によるトリメチルアルミニウム水素気相反応に関する密度汎関数理論研究
Aluminum deposition
Density functional theory
MOCVD
5-h247
第 3 日
13:4014:00
J315Nb薄膜低温プラズマ製膜プロセス検討
(東大院工) ○(学)田中 潤(正)山口 潤(正)佐藤 登(正)筑根 敦弘(正)霜垣 幸浩
niobium
plasma deposition
low-temperature
5-h313
第 3 日
14:0014:20
J316An evaluation of high temperature processed Bi-based perovskite thin film for photovoltaic application
chemical vapor deposition
perovskite solar cells
chemical reaction engineering
5-h564
第 3 日
14:4015:00
J318気相合成されたTiO2、TiO2+CuOナノ粒子薄膜の種々の反応場における光触媒性能
PECVD
nanoporous composite
aerosol deposition
5-h268
第 3 日
15:0015:20
J319ニューラルネットワークポテンシャルを用いた吸脱着平衡定数表面反応速度定数推算
machine learned potential
surface kinetics
5-h461
第 3 日
15:2015:40
J320ニューラルネットワークポテンシャルを用いたトリメチルアルミニウム吸着状況解析
(U. Tokyo) ○(学)Wu Yuxuan(正)山口 潤(正)佐藤 登(正)筑根 敦弘(正)霜垣 幸浩
ALD
CVD
Surface Adsorption
5-h263
第 3 日
15:4016:00
J321Co-ALDにおける初期核発生成長過程評価
(東大院工) ○(正)玉置 直樹(正)山口 潤(正)佐藤 登(正)筑根 敦弘(正)霜垣 幸浩
atomic layer deposition
initial growth
in-situ observation
5-h551
第 3 日
16:0016:20
J322Mo(CO)6を用いたMo原子層成長プロセス開発
(東大院工) ○(学)小原 聡顕(正)山口 潤(正)佐藤 登(正)筑根 敦弘(正)霜垣 幸浩
Mo(CO)6
low resistivity
good step coverage
5-h324

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