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化学工学会 第90年会 (東京)

講演プログラム検索結果 : 製膜 : 4件

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講演題目 が『製膜』を含む講演：4件該当しました。
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講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 2 日
16:40～ 17:00		I224有機溶媒ナノろ過用ジルコニウム系MOF膜の噴霧製膜
(広大院先進理工) ○(正)久保 優・ (正·技基)丸井 壮・ (正)島田 学
Metal-organic framework
UiO-66
MOF membrane
4-a230
第 3 日
9:20～ 11:20		PD369ALDによるPd製膜プロセスと基板依存性の検討
palladium
AS-ALD
growth enhancer
5-h345
第 3 日
9:20～ 11:20		PD372低MTS高水素条件CVIによるSiC初期成長の製膜実験による考察
SiC
CVI
CMC
5-h430
第 3 日
13:40～ 14:00		J315Nb薄膜の低温プラズマ製膜プロセスの検討
(東大院工) ○(学)田中 潤・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
niobium
plasma deposition
low-temperature
5-h313
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