羽深等 - 講演プログラム検索結果 - 化学工学会第54回秋季大会 (福岡)

`化学工学会第54回秋季大会 (福岡)`

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講演プログラム検索結果 : 羽深等 : 4件

講演番号先頭がPの講演はポスター講演、それ以外の講演は口頭講演です。
講演要旨を公開しました(要ID/PW)。講演番号をクリックしてください。
(ご招待者・有料参加登録者にお知らせしたID/PWが必要です)

発表者または座長が『羽深等』と一致する講演：2件該当しました。
司会・座長氏名が『羽深等』と一致するセッション：2件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。また、フラッシュ付きポスターの場合、フラッシュとポスターの２件となります。

講演時刻	講演番号	講演題目／発表者	キーワード	分類番号	受理番号
第 1 日 15:00～ 15:20	S119	SiC_xN_yO_zの室温プラズマCVD製膜における前駆体の相互作用 (横国大) 川上広樹・堀健太・渡部亨・ ○(正)羽深等	SiCNO PECVD Interaction	ST-24	94
第 1 日 15:00～ 17:00	座長島田学・羽深等
	S119	SiC_xN_yO_zの室温プラズマCVD製膜における前駆体の相互作用 (横国大) 川上広樹・堀健太・渡部亨・ ○(正)羽深等	SiCNO PECVD Interaction	ST-24	94
	S120	3次元集積回路用AlN薄膜の低温CVDプロセス開発 (東大院工) ○(学)小原聡顕・二宮健生・高木剛・ (正)百瀬健・ (正)霜垣幸浩	AlN film chemical vapor deposition low temperature	ST-24	229
	S121	ホウ素と水蒸気を用いた気体ホウ素源供給と鋳型法による窒化ホウ素ナノチューブの合成 (早大先進理工) ○(学·技基)甲斐田敬済・髙橋宏夢・ (早大理工総研) (正)李墨宸・ (早大ナノライフ) (正)大沢利男・ (早大先進理工) (正)野田優	Boron Nitride Nanotube (BNNT) Template coating method Boron oxide	ST-24	168
	S122	超臨界流体薄膜堆積法によるポリマー上への低抵抗率銅薄膜形成プロセスの開発 (東大院工) ○(学)中嶋佑介・ (正)霜垣幸浩・ (東大院工/熊大半導体) (正)百瀬健	SCFD Polymer resistivity	ST-24	304
	S123	臭素蒸気を用いたカーボンナノチューブの低損傷乾式精製法の開発 (早大先進理工) ○(学·技基)後藤拓磨・ (早大ナノライフ) (正)大沢利男・ (早大先進理工) (正)野田優	Carbon nanotube Purification Bromine vapor	ST-24	344
	S124	水晶振動子によるトリメチルアルミニウムの吸着状態のその場測定 (U. Tokyo) ○(学)Wu Yuxuan・ (学)Liu Haonan・ (正)Yamaguchi Jun・ (正)Sato Noboru・ (正)Tsukune Atsuhiro・ (正)Momose Takeshi・ (正)Shimogaki Yukihiro	ALD QCM Adsorption	ST-24	705
第 2 日 9:40～ 10:00	C203	バッチ式洗浄におけるウエハ浸漬・取出時の付着汚れの動き (横国大) 土田透子・ ○(正)羽深等・ (プレテック) 後藤昭広	Wafer cleaning Wafer operation Betch-type cleaner	SY-77	95
第 2 日 13:40～ 15:40	座長羽深等
	C215	[展望講演] 感動を生み出すためのハプティクス技術とその未来 (ソニー) 中川佑輔	Haptics technology	SY-77	224
	C217	[招待講演] ペロブスカイト太陽電池の現状と可能性 (産総研) 古郷敦史	Perovskite Solar Cells	SY-77	113
	C218	アルカリ水溶液中に分散したグラフェンに対する電気化学反応の考察 (阪公大工) ○(正)岡本尚樹・三宅怜・ (正)齊藤丈靖	Graphene Electrochemical Reaction	SY-77	835
	C219	電析法で作製したZnSへの電気化学的Cuドーピングの検討 (阪公大工) ○(正)岡本尚樹・松田直大・ (正)齊藤丈靖	electrodeposition ZnS Cu	SY-77	848
	C220	金型製造プロセスにおけるNi電鋳の欠陥低減の検討 (阪公大工) ○(学)溝畑凌生・ (正)岡本尚樹・ (正)齊藤丈靖・ (パリティ・イノベーションズ) 前田有希・前川聡	electroforming Ni mold manufacturing process	SY-77	867

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