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化学工学会 第55回秋季大会

講演プログラム検索結果 : 川上 雅人 : 1件

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司会・座長氏名 が『川上 雅人』と一致するセッション：1件該当しました。
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講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
13:00～ 15:00		   座長 野田 優・川上 雅人
J113[招待講演] 有機金属気相成選択成長法による化合物半導体ナノ構造作製と機能化
vapor-phase selective growth
metal-organic vapor
compound semiconductor nanostructures
ST-257
J115効果的な反応ガス供給によるMo原子層成長プロセス開発
(東大院工) ○(学)小原 聡顕・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
Molybdenum
Atomic Layer Deposition
reactant supply
ST-25484
J116水晶振動子マイクロバランスを用いたトリメチルアルミニウムによるアルミナALDの速度論的研究
(東大院工) ○(学)Wu Yuxuan・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
Atomic Layer Depositon
Quartz Crystal Microbalance
Surface Adsorption
ST-25821
J117CVD及びALDに用いるインラインSi3H8発生方法
Generation
Si3H8
ST-2597
J118Agナノ粒子の蒸着法による基板上およびガス中での合成と応用
Silver nanoparticles
Surface plasmon resonance
Vapor deposition
ST-25842
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