発表者または座長 が『玉置 直樹』と一致する講演:1件該当しました。
司会・座長氏名 が『玉置 直樹』と一致するセッション:1件該当しました。
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講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目/発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
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オーガナイズドセッション(反応工学部会CVD反応分科会) | |||||
第 3 日 | 座長 | ||||
J313 | HF蒸気を用いた薄膜エッチングに関する実験および数値シミュレーション | CFD Vapor Process Etching | 5-h | 306 | |
J314 | アルミニウム層成長によるトリメチルアルミニウムと水素の気相反応に関する密度汎関数理論研究 | Aluminum deposition Density functional theory MOCVD | 5-h | 247 | |
J315 | Nb薄膜の低温プラズマ製膜プロセスの検討 | niobium plasma deposition low-temperature | 5-h | 313 | |
J316 | An evaluation of high temperature processed Bi-based perovskite thin film for photovoltaic application | chemical vapor deposition perovskite solar cells chemical reaction engineering | 5-h | 564 | |
第 3 日 | J321 | Co-ALDにおける初期核発生と成長過程の評価 | atomic layer deposition initial growth in-situ observation | 5-h | 551 |
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